南大光电完成25吨ArF光刻胶生产线建设，尚未进入规模量产阶段

南大光电回应称：感谢您的关注！公司MO源、前驱体、电子特气产品均已规模化生产。ARF光刻胶已建成25吨的生产线，尚未规模量产。